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Woo-Hee Kim

Assistant Professor at Hanyang University

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Atomic Layer Deposition Area Selective Deposition Metal/Dielectric materials Nanomaterials

Junjie Zhao (赵俊杰)

Tenured Associate Professor, Zhejiang University

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Thin Films Atomic Layer Deposition Area-Selective Deposition Metal-Organic Frameworks Polymers

Sang Young Lee

Intel Corporation

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High-k Atomic Layer Deposition Area Selective Deposition Vt modulation Reliability

Younghun Sung

Material Development Team, Semiconductor R&D Center, Samsung Electronics

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Area-Selective Deposition Low-k SOG Surface Engineering

Mikhail Krishtab

ASM International

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metal-organic frameworks low-k dielectrics on-chip interconnects area-selective deposition

Seunghwan Lee

Hanyang University

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被引用 856 次

Area selective deposition Atomic layer deposition Molecular layer deposition Semiconductor device Oxide TFT

Maram Bakiro

Carleton University

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被引用 512 次

NanoFab Area Selective Deposition Porous Materials

Hwan Oh

Brookhaven National Laboratory

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Semiconductor 2D Material Area-Selective Deposition Atomic Layer Deposition Atomic Layer Etching

Seung Keun Song

Intel Corporation

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Atomic Layer Deposition Atomic Layer Etching Thin film fabrication Area-selective deposition Nanopatterning

Zizhuo Zhang

University of Texas at Austin

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area selective deposition

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