Follow
Denis Vasilev
Title
Cited by
Cited by
Year
Superconducting detector of IR single-photons based on thin WSi films
VA Seleznev, AV Divochiy, YB Vakhtomin, PV Morozov, PI Zolotov, ...
Journal of Physics: Conference Series 737 (1), 012032, 2016
342016
Vacuum coating system for deposition of superconducting WxSi (1–x) ultrathin films used in single photon detectors
DD Vasilev, EI Malevannaya, KM Moiseev
Journal of Physics: Conference Series 872 (1), 012027, 2017
222017
Influence of the planar cylindrical target erosion zone of magnetron sputtering on the uniformity of a thin-film coating
DDVKM Moiseev
Journal of Physics, 2015
122015
Процесс ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени.
МВ Макарова, ДД Васильев, КМ Моисеев
Сб. тр, 298-305, 2016
52016
Распределение соотношения компонентов по подложке при нанесении ультратонких пленок WSi из двух источников методом магнетронного распыления
КММ Д.Д. Васильев, Е.И. Малеванная
М, 2015
52015
Исследование скорости травления различных пленок в установке плазменной обработки PMC
Д Васильев, К Моисеев
ТЕХНОЛОГИИ В ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ Учредители: ООО" Медиа КиТ", 60-61, 2021
42021
Исследование скорости осаждения ультратонких сверхпроводящих пленок WSi при варьировании энергии частиц осаждаемого материала
ДД Васильев, ЕИ Малеванная, КМ Моисеев
Вакуумная наука и техника» Материалы XXV научно-технической конференции. М …, 2018
42018
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS
AD Kouptsov, DD Vasilev, SV Sidorova, KM Moiseev
Journal of Physics: Conference Series 1799 (1), 012016, 2021
32021
Automatic control system for the plasma processing unit multi plasma cleaner one
PA Ezhova, DD Vasilev, SV Sidorova, KM Moiseev
Advances in Automation II: Proceedings of the International Russian …, 2021
32021
Разработка малогабаритной установки плазменной НЧ обработки MPC One
АД Павленко, ДД Васильев, КМ Моисеев
Наноиндустрия 13 (S2), 370-381, 2020
32020
Оценка влияния ВЧ плазмы низкого давления на активацию поверхности различных материалов на установке MPC ONE
ЕИ Малеванная, ЮС Макарова, ДД Васильев, КМ Моисеев
С23 Сборник научных трудов XXI Международной научно-тех-нической конференции …, 2016
32016
Отработка технологии формирования бездефектных тонких пленок никеля на стеклянных подложках методом магнетронного распыления
ВДД Малеванная Е. И.
Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии, 2015
32015
Providing of Ultra-Thin Film Thickness Uniformity by Magnetron Sputtering from Two Sources
S Hydyrova, MY Akishin, DD Vasilev, KM Moiseev
IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 781 (1), 012012, 2020
22020
Разработка магнетронной распылительной системы с двумя источниками для формирования ультратонких покрытий WSi для SNSPD
ИВ Михайлова, ВА Мамонтова, С Хыдырова, МЮ Акишин, ...
Наноиндустрия 13 (S2), 39-46, 2020
22020
Изучение технологических возможностей установки низкочастотной обработки изделий в плазме низкого давления MPC
АД Павленко, АА Рогожин, ДД Васильев
Всероссийская научно-техническая конференция" Студенческая научная весна …, 2018
22018
Моделирование магнитных систем магнетронов с использованием САПР COMSOL
АР Матанин, АА Храмова, ДД Васильев, КМ Моисеев
Будущее машиностроения России, 209-213, 2017
22017
Расчет сложного движения для повышения равномерности тонкопленочного покрытия
МКМ Васильев Д.Д.
Вакуумная техника и технология, 105 - 106, 2015
22015
Оценка неравномерности тонкопленочного покрытия при магнетронном распылении с учетом влияния зоны эрозии планарного цилиндрического магнетрона
КММ Д.Д. Васильев
XIX Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в …, 2014
22014
Evaluation of the Single-Photon Detector Characteristics Depending on the Parameters of a WxSi1 – x Superconducting Film
SY Hydyrova, IA Stepanov, DD Vasilev, KM Moiseev
Physics of the Solid State 63 (9), 1410-1413, 2021
12021
ФОРМИРОВАНИЕ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ SiO2 И TiO2 ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТАХ
МА Богачѐв, ИВ Михайлова, ДД Васильев
XXXIII Международная инновационная конференция молодых ученых и студентов по …, 2021
12021
The system can't perform the operation now. Try again later.
Articles 1–20