Superconducting detector of IR single-photons based on thin WSi films VA Seleznev, AV Divochiy, YB Vakhtomin, PV Morozov, PI Zolotov, ... Journal of Physics: Conference Series 737 (1), 012032, 2016 | 34 | 2016 |
Vacuum coating system for deposition of superconducting WxSi (1–x) ultrathin films used in single photon detectors DD Vasilev, EI Malevannaya, KM Moiseev Journal of Physics: Conference Series 872 (1), 012027, 2017 | 22 | 2017 |
Influence of the planar cylindrical target erosion zone of magnetron sputtering on the uniformity of a thin-film coating DDVKM Moiseev Journal of Physics, 2015 | 12 | 2015 |
Процесс ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени. МВ Макарова, ДД Васильев, КМ Моисеев Сб. тр, 298-305, 2016 | 5 | 2016 |
Распределение соотношения компонентов по подложке при нанесении ультратонких пленок WSi из двух источников методом магнетронного распыления КММ Д.Д. Васильев, Е.И. Малеванная М, 2015 | 5 | 2015 |
Исследование скорости травления различных пленок в установке плазменной обработки PMC Д Васильев, К Моисеев ТЕХНОЛОГИИ В ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ Учредители: ООО" Медиа КиТ", 60-61, 2021 | 4 | 2021 |
Исследование скорости осаждения ультратонких сверхпроводящих пленок WSi при варьировании энергии частиц осаждаемого материала ДД Васильев, ЕИ Малеванная, КМ Моисеев Вакуумная наука и техника» Материалы XXV научно-технической конференции. М …, 2018 | 4 | 2018 |
Design of a liquid-phase magnetron sputtering small-sized source for the vacuum coating system MVTU-11-1MS AD Kouptsov, DD Vasilev, SV Sidorova, KM Moiseev Journal of Physics: Conference Series 1799 (1), 012016, 2021 | 3 | 2021 |
Automatic control system for the plasma processing unit multi plasma cleaner one PA Ezhova, DD Vasilev, SV Sidorova, KM Moiseev Advances in Automation II: Proceedings of the International Russian …, 2021 | 3 | 2021 |
Разработка малогабаритной установки плазменной НЧ обработки MPC One АД Павленко, ДД Васильев, КМ Моисеев Наноиндустрия 13 (S2), 370-381, 2020 | 3 | 2020 |
Оценка влияния ВЧ плазмы низкого давления на активацию поверхности различных материалов на установке MPC ONE ЕИ Малеванная, ЮС Макарова, ДД Васильев, КМ Моисеев С23 Сборник научных трудов XXI Международной научно-тех-нической конференции …, 2016 | 3 | 2016 |
Отработка технологии формирования бездефектных тонких пленок никеля на стеклянных подложках методом магнетронного распыления ВДД Малеванная Е. И. Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии, 2015 | 3 | 2015 |
Providing of Ultra-Thin Film Thickness Uniformity by Magnetron Sputtering from Two Sources S Hydyrova, MY Akishin, DD Vasilev, KM Moiseev IOP Conference Series: Materials Science and Engineering 781 (1), 012012, 2020 | 2 | 2020 |
Разработка магнетронной распылительной системы с двумя источниками для формирования ультратонких покрытий WSi для SNSPD ИВ Михайлова, ВА Мамонтова, С Хыдырова, МЮ Акишин, ... Наноиндустрия 13 (S2), 39-46, 2020 | 2 | 2020 |
Изучение технологических возможностей установки низкочастотной обработки изделий в плазме низкого давления MPC АД Павленко, АА Рогожин, ДД Васильев Всероссийская научно-техническая конференция" Студенческая научная весна …, 2018 | 2 | 2018 |
Моделирование магнитных систем магнетронов с использованием САПР COMSOL АР Матанин, АА Храмова, ДД Васильев, КМ Моисеев Будущее машиностроения России, 209-213, 2017 | 2 | 2017 |
Расчет сложного движения для повышения равномерности тонкопленочного покрытия МКМ Васильев Д.Д. Вакуумная техника и технология, 105 - 106, 2015 | 2 | 2015 |
Оценка неравномерности тонкопленочного покрытия при магнетронном распылении с учетом влияния зоны эрозии планарного цилиндрического магнетрона КММ Д.Д. Васильев XIX Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в …, 2014 | 2 | 2014 |
Evaluation of the Single-Photon Detector Characteristics Depending on the Parameters of a WxSi1 – x Superconducting Film SY Hydyrova, IA Stepanov, DD Vasilev, KM Moiseev Physics of the Solid State 63 (9), 1410-1413, 2021 | 1 | 2021 |
ФОРМИРОВАНИЕ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ SiO2 И TiO2 ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТАХ МА Богачѐв, ИВ Михайлова, ДД Васильев XXXIII Международная инновационная конференция молодых ученых и студентов по …, 2021 | 1 | 2021 |